Описание
Type1: один полировка
Type2: двойной полировки
Тип 3: одиночный бросок высокая стойкость
Тип 4: Одинарная полировка (эссенция)
Тип параметра | СиТехнический индекс |
Размер продукта | 2 дюйма на одной стороне полированная Кремниевая Пластина |
GRowth метод | CZ один кристалл (CZ) |
Обработка поверхности | На одной стороне полировка |
Диаметр толерантность | 50,8 ±0. 3 мм |
Допинг Тип | Допант (NType-легированный фосфор, мышьяк и сурьма) (пборон легированный) |
С украшением в виде кристаллов ориентации | 100111 110 |
ResistivityΩ | 0,001-50 |
ПланенессМДП | <3um |
КороблениеTTV | <10um |
B Конец градусовЛук | <10um |
Полировка шероховатостьРА | <0.5nm |
ЗернистостьPewaferr | <10 (Для размера>0.3um) |
ТолщинаUm | 280-400um |
Цель | Носители образцов для процесса изосинхротронного излучения.LPCVD/PEСердечно-сосудистых заболеванийПокрытие как подложка, образцы, выращенные магнетронным напылением,РСА、SEM, AFM, инфракрасная спектральная флуоресцентная спектроскопия и другой анализ и измерение субстратов, база, выращенная молекулярным пучком Epitaxy,XРентгеновский анализ кристаллических полупроводников и многих других научных применений. |
Характеристики
- Тип
- Части Кондиционера